Vakuum-Prüfröhren, auf Neudeutsch auch gerne „Vacuum Gauge“* genannt, dienen oder dienten zur Messung der Güte von Vakua, sei es bei der Röhrenfertigung oder aber in anderen technischen Bereichen. Diese Röhren bestehen aus verschiedenen Materialien und werden auch unter verschiedenen Bezeichnungen wie z.B. „Penning“ oder „Pirani“ geliefert. Fragen Sie mich bitte nicht, wie so eine Vakuum-Prüfröhre funktioniert bzw. wie sie Angewendet wird, ich weiß es nicht. Das was ich über eine Röhre weiß, wird auf der entsprechenden Seite angegeben.In der Zwischenzeit wurde ich zufällig Zeuge einer Vakuumprüfung mittels modernerer Messzellen, aber dem prinzipiell gleichen Messprinzip, und da fiel es mir wie Schuppen aus den Haaren, wie so eine Prüfzelle funktioniert und wie sie angewendet wird.  Die Darstellung der Sockelbelegungen ist immer so gezeichnet, wie es die Röhrenhersteller angeben, also von unten gegen den Sockel gesehen, wie die Abbildung zeigt:

* Sprich: Wakjuum Gootsch

20.2-1

  

MR 04

mw 03
 
 
 

 

Die guten alten Messröhren wurden bei der Röhrenfertigung verwendet, aber die moderneren Pirani- und/oder Penning-Zellen wurden zur Herstellung von Silizium-Kristallen, also der Grundlage zur Herstellung integrierter Schaltkreise verwendet. Irgendwo an der Maschine, in der die Siliziumkristalle gezüchtet werden, befindet sich ein Rohr mit oder ohne Flansch, durch welches ein Vakuum bzw. ein Unterdruck im Schnelztiegel erzeugt wird. Dieser Unterdruck ist deshalb nötig, damit eventuelle Gaseinschlüsse oder andere Verunreinigungen vom Siliziumkristall ferngehalten werden. Ein Hochvakuum, wie wir es von den Röhren her kennen, wird dabei nicht erzeugt und auch nicht benötigt. Der Restdruck des verdünnten Gases wird gemessen, und zwar, indem die Messzelle entweder auf einen Flansch aufgesetzt oder wie eine Sonde in das Vakuumrohr geschoben wird. Am anderen Ende befindet sich ein Messgerät, welches den vorhandenen Restdruck anzeigt. Bei älteren Geräten wurde der Anzeige noch ein Steuerrecher vorgeschaltet. Die Messzelle verhält sich im Vakuum bzw. Unterdruck ähnlich wie eine Elektronenröhre, sie dient somit dem Messgerät als eine Art Geber.

Es gibt einige verschiedene Messverfahren mit unterschiedlichen Aufnehmern, die im Prinzip jedoch alle nach der gleichen Verfahrensweise arbeiten. Diese alle aufzuzählen, würde den Rahmen dieser Seite sprengen, es war lediglich das Ziel dieser Ausführung, in groben Zügen die Verwendung und die Funktion von Vakuummesszellen zu erläutern.

 

Hier habe ich noch die Ausführungen der Wikipedia zu diesem Thema: http://de.wikipedia.org/wiki/Pirani-Vakuummeter

 

letzte Aktualisierung: Dienstag, 13. September 2011

 

 

 

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